半导体工艺设备
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真空高温无氧烤箱/真空防氧化固化炉/真空高温无氧固化炉/真空高温厌氧固化炉
应用介绍：主要做BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MEMS)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备等的高温洁净和无氧真空环境中干燥和老化试验。
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