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真空高温无氧烤箱/真空防氧化固化炉/真空高温无氧固化炉/真空高温厌氧固化炉
应用介绍：主要做BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MEMS)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备等的高温洁净和无氧真空环境中干燥和老化试验。
所属分类：
关键词：半导体专用设备
产品描述
(1)、应用介绍：主要做BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MEMS)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备等的高温洁净和无氧真空环境中干燥和老化试验。
主要特点：节省氮气(30LPM)，具有升温快、节能等特点，独特的送风、排风系统，确保炉箱温度均匀，金属过滤器，确保洁净度的要求。
(2)、技术指标：
2.1长期使用温度：400℃;(最高温度：450℃)
2.2 温度均匀度：≤2%MFS;
2.3最大升温速率：≤6℃/min;
2.4降温速率:400℃-80℃，≤1.5h;
2.5极限真空度：≤10pa;
2.6氧含量指标：常温下≤50ppm;高温下≤30ppm
2.7洁净度：class100级
2.8加热方式：陶瓷翅片加热器，环形四周加热;
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型号 |
MOLZK-32D1 |
MOLZK-118D1 |
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