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高温无氧烤箱/防氧化固化炉/高温无氧固化炉/高温厌氧固化炉

应用介绍:主要做BPO胶/PI胶/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MEMS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零配件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

所属分类:

关键词:半导体专用设备

产品咨询:

产品描述

应用介绍:主要做BPO胶/PI胶/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MEMS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零配件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

主要特点:箱体选用全陶瓷纤维保温,具有升温快、节能等特点,独特的送风、排风系统,确保炉箱温度均匀,吸风口玻纤过滤器,确保洁净度的要求。

(1)、技术指标与基本配置:

1.1使用温度:RT+10~400℃,最高温度:450℃;

1.2空炉降温时间:375℃--80℃;降温时间1.5-3.5小时 (采用水冷及风冷);

1.3温度均匀度:±2%℃(400℃平台)

(2)、氧含量(配氧分析仪):

高温状态氧含量:≤ 50ppm +气源氧含量;

低温状态氧含量:≤100ppm +气源氧含量

(3)、事件输出:

3.1配置PLC,可实现多事件输出控制气氛、水等开关和报警;

3.2控制:上下炉腔可单独控温、通气、报警保护;

(4)可接受订制或多腔体

(5)、产品型号:

型号

MOLWY-120

MOLWY-288

MOLWY-512

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