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高温无氧烤箱/防氧化固化炉/高温无氧固化炉/高温厌氧固化炉
应用介绍:主要做BPO胶/PI胶/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MEMS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零配件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。
所属分类:
关键词:半导体专用设备
产品描述
应用介绍:主要做BPO胶/PI胶/BCB胶固化,IC(晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MEMS、指纹识别)、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干,电工产品、材料、零配件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。
主要特点:箱体选用全陶瓷纤维保温,具有升温快、节能等特点,独特的送风、排风系统,确保炉箱温度均匀,吸风口玻纤过滤器,确保洁净度的要求。
(1)、技术指标与基本配置:
1.1使用温度:RT+10~400℃,最高温度:450℃;
1.2空炉降温时间:375℃--80℃;降温时间1.5-3.5小时 (采用水冷及风冷);
1.3温度均匀度:±2%℃(400℃平台)
(2)、氧含量(配氧分析仪):
高温状态氧含量:≤ 50ppm +气源氧含量;
低温状态氧含量:≤100ppm +气源氧含量
(3)、事件输出:
3.1配置PLC,可实现多事件输出控制气氛、水等开关和报警;
3.2控制:上下炉腔可单独控温、通气、报警保护;
(4)可接受订制或多腔体
(5)、产品型号:
型号 |
MOLWY-120 |
MOLWY-288 |
MOLWY-512 |
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