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无尘烤箱、洁净烘箱

广泛应用于电子液晶显示,LCD,CMOS,IC,医药实验室等生产及科研部门。

所属分类:

关键词:半导体专用设备

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产品描述

(1)产品概述

广泛应用于电子液晶显示,LCD,CMOS,IC,医药实验室等生产及科研部门。

(2)技术指标

2.1 无尘等级:Class100:(符合FED-STD 209E标准:0.3um≤300个)

2.2温度范围:+30℃~ +300℃

2.3温度均匀性:±2%℃(空箱测试)

2.4温度精确度:±1℃(空箱测试)

(3)箱体结构

3.1烘箱总体由箱体部分,电气控制柜部分,电加热部分,风道部分。

3.2电热部分:采用进口覆套式电热器(SHEATHED HEATER)无尘无氧化电热发生器

3.3进口H.E.P.A,(特殊风道设计),过滤效果可达99.995%,Class100;

(4)可接受定制

型号

MOLWG-91

MOLWG-120

MOLWG-288

MOLWG-490

MOLWG-640

MOLWG-1400

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